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第八百九十五章 湿法蚀刻(第2页)

igbt是功率半导体,制程上不仅是不需要跟随数字半导体的制程,甚至更小的制程对性能并不更友好。后世半导体制程都进入10纳米以内了,很多igbt的制程仍然只有0.5微米,这你敢信?

而后世中国的半导体产业,同样仍然有湿法蚀刻的一席之地。因为市场上绝大多数的芯片,实际上并不需要最先进的制程。像绝大多数低成本ic、分立器件和微电子机械设备,仍然还是采用湿法蚀刻的。

湿法刻蚀虽然做不了精细活,但自己也是有优点的。比如说特定的腐蚀剂可以起到专门腐蚀某种材料的作用,只腐蚀材料而不伤害光刻胶、不伤害下层已经形成的结构,这种选择性刻蚀的特性,让它在粗制程下安全性更好,确保不会损伤衬底。

这几年在新科的持续投入下,国内对湿法蚀刻技术已经吃的差不多了,也因此积累了超过业界水平很多的数据资料。

正如钟大华所说,如果要走湿法蚀刻的路线,那新科还真是得天独厚。

王中军最后又看了一眼手上的资料,重重的点了点头。

“行,你等着,我去跟倪院长汇报一下。”

……

嘎吱一声,一辆军车在半导体所大楼前的广场上停了下来,它的后面跟着的是一连串的大客车、小轿车,甚至是吉普车。

“下车,整队!”

一群战士从军卡的后面跳了下来,迅速的排成了整齐的队伍,一个中队长这才转头向王中军跑了过去。

“是王中军同志吗,我是武警支队三中队的,我姓张。”

“幸不辱命,这是你们点名指定的其他研究单位的研究员,总算是如期安全送达了!”

王中军收回看向车队的目光,和他握了握手:“张队长,你们来的真快,辛苦你了!”

“不辛苦王同志,接下来我们还有很久时间可以相处,不需要这么客气的。”

“那我们接下来的安全,就全托付给张队长了。”

王中军的方案报上去,作为所里目前最重要的项目,当然会得到无条件的支持。

实验多、时间紧,光凭半导体所,想在两个月时间里完成实验,几乎是不可能的事情。要搞攻关模式,从外面调人过来分担工作,保密问题就不能不重视。

张队长和他的支队不仅是保护他们的安全,同样也有监视和隔离的责任。

在当前的局势下,光栅项目至关重要,谁也不敢冒一丁点的危险。

而跟随他来的这些人,也都是王中军亲自点将,从绣城附近各大研究所抽调的骨干人员。这么一大批人突然抵达,半导体所的后勤人员简直忙疯了。

不过这显然是物有所值,很快这些人就分配了实验任务,然后带着从绣城各大学抓来的研究生,开始有条不紊的工作起来。

有人、有方案,幸运的是在这个思路下实验条件要求还不算特别苛刻。半导体所里无尘室是标配,其他的实验室项目纷纷给光栅项目让路,并且更多的原子力显微镜也被迅速送了过来。

原子力显微镜在国内还是稀罕货,好在这东西不是瓦森纳协定的禁运物资,新科披个马甲去国际上采购一圈,等实验做完了还能低价二手处理给国内其他研究所。

今天你借我一台,明天大不了我还你两台。

这样人、财、物迅速集结,半导体所俨然就是要打一场小型的科研攻关战。

苦虽然是苦了点,但知道、不知道内情的研究人员们却都没有什么抱怨的声音。家里有组织上照顾,两个月而已,做起实验来一晃神的功夫就过去了。

而这两个月以来,国际局势的变化又可以说是给所有人都上了一课。

不仅是落后就要挨打,而是不是第一就要挨打!要说国内没有因此憋着一口气,那是怎么都说不过去的。

想给美国人一个教训,想大声的对他们说“no!去尼玛的!”

带着这样的情绪,时间从盛夏进入了初秋。十月酒泉的气温最冷已经到了零下,但就在原本应该夜深人静的时候,一支支从全国各地赶来的车队,却在这里热火朝天的相遇了。

不论多么凛冽的寒风,竟然都无法熄灭他们的热情!

王中军从车上跳下来,紧紧抱着手中的盒子,眼前看到的便是这样一番景象。

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